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2004-11 | A study of process parameter control for nanopattern | 오혜근 |
2007-01 | Theoretical investigation of pattern printability of oxidized Si and Ru capping models for extreme ultraviolet lithography (EUVL) | 오혜근 |
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2021-02 | Thermomechanical stability evaluation of various pellicle structures with contaminant particles | 오혜근 |
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2003-12 | 복합적인 레지스트 패턴 붕괴현상의 역학적 해석 | 오혜근 |
2002-09 | 신경망을 이용한 공정 오차 보정 | 오혜근 |
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2002-01 | 화학 증폭형 감광제의 전산모사를 위한 PEB 변수 추출 | 오혜근 |