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Issue Date | Title | Author(s) |
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2004-11 | Aerial Image Characterization for Defects in an Extreme-Ultraviolet Mask | 김옥경 |
2004-12 | 염소를 포함한 액체에서의 금박막 패터닝과 표면 분석 | 김옥경 |
2004-12 | 극자외선 리소그래피에서 마스크 결함에 의한 이미지 특징 | 김옥경 |
2004-12 | 실시간 분광 엘립소메트리를 이용한 a-Si박막의 crystallization 현상 연구 | 김옥경 |