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Issue Date | Title | Author(s) |
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2016-06 | 위상변위 극자외선 마스크의 흡수체 패턴의 기울기에 대한 오차허용도 향상 | 안진호 |
2015-09 | SRAF를 적용한 극자외선 노광기술용 위상 변위 마스크의 반사도에 따른 이미징 특성 연구 | 안진호 |
2015-09 | HF 습식 식각을 이용한 극자외선 노광 기술용 SiNx 펠리클 제작 공정 | 안진호 |
2016-03 | 물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작 | 안진호 |