Repository at Hanyang UniversityCOLLEGE OF ENGINEERING SCIENCES[E](공학대학)ELECTRICAL ENGINEERING(전자공학부)Articles
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Cu 도핑된 ZnO 박막의 물성 및 SAW 소자 응용
- Title
- Cu 도핑된 ZnO 박막의 물성 및 SAW 소자 응용
- Other Titles
- Characterization of Cu-doped ZnO thin film and its application of SAW devices
- Author
- 박진석
- Issue Date
- 2000-07
- Publisher
- 대한전기학회
- Citation
- 대한전기학회 학술대회 논문집, page. 1488-1490
- Abstract
- RF magnetron sputtering 방법에 의하여 ZnO 박막에 Cu-chip을 부착하고 이를 co-sputtering하여 Cu가 도핑된 ZnO 박막을 제작하여, 박막의 증착조건에 따른 ZnO 박막의 구조적, 전기적 물성을 분석하였다.
- URI
- https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE01346965https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/162978
- Appears in Collections:
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