압전구동기의 히스테리시스를 고려한 견실제어

Abstract

압전 구동기는 전기적 에너지를 직접 동역 학적 에너지로 변환하는 세라믹 구동기이다. 특히 압전 구동기의 개방 회로 시스템은 분자 구조 특성에 의해 비 선형적인 히스테리시스 특성과 크리프 톡성올 가진다. 이러한 비선형적 시스템올 작은 분해능으로 제어하는 경 우 이에 따른 외란,모델링의 불확실성 둥의 오차가 발 생하게 된다. 따라서, 현재 이러한 비선형적 오차를 기존 의 PID 및 최적제어를 사용하여 보상하는 방법에 대해 서 많은 연구가 진행되고 있다. 본 논문에서는 압전 구 동기 위치 결정 시스템 전체에 대해 LQG 제어 및 제어를 적용하여 시뮬레이션올 실시하였다. 또한 본 논 문은 시뮬레이션 결과를 바탕으로 실제 압전 구동기 위 치 결정 시스템에 HO 제어를 적용하여 제안된 제어 기가 시스템 성능에 영향올 주는 외란, 모델링의 불확실 성 등을 효과적으로 제거함을 보여준다.