AFM 및 광학이미지를 이용한 나노가공특성 분석

Abstract

본 연구에서는 광학 시스템을 구현하여 하중에 따른 켄틸레버의 변형 량을 광학 현미경 이미지를 통하여 직접 측정하였다. 따라서 포토다이 오드의 용량과 캔틸레버 상수에 상관없이 다양한 수직력(0∼120uN)과 가공 력을 분석할 수 있었다. 또한 그 결과를 AFM image/profile, SEM image, AE신호분석 결과와 비교하여 대표적인 취성재료인 Si(100)의 가공특성을 분석하였고, 동일한 방법을 적용해 다른 재료인 coating 소재의 가공 특성을 파악하였다. 결론적으로 본 연구는 다양한 coating소재의 기계적 특성 및 가공특성을 파악할 수 있는 방법론을 제시하였다.