Repository at Hanyang UniversityGRADUATE SCHOOL[S](대학원)DEPARTMENT OF MECHANICAL DESIGN AND MECHATRONICS(기계설계·메카트로닉스공학과)Theses (Master)
Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이성환 | - |
| dc.contributor.author | 문홍주 | - |
| dc.date.accessioned | 2020-03-09T02:52:37Z | - |
| dc.date.available | 2020-03-09T02:52:37Z | - |
| dc.date.issued | 2013-02 | - |
| dc.identifier.uri | https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/134254 | - |
| dc.identifier.uri | http://hanyang.dcollection.net/common/orgView/200000420785 | en_US |
| dc.description.abstract | 본 연구에서는 광학 시스템을 구현하여 하중에 따른 켄틸레버의 변형 량을 광학 현미경 이미지를 통하여 직접 측정하였다. 따라서 포토다이 오드의 용량과 캔틸레버 상수에 상관없이 다양한 수직력(0∼120uN)과 가공 력을 분석할 수 있었다. 또한 그 결과를 AFM image/profile, SEM image, AE신호분석 결과와 비교하여 대표적인 취성재료인 Si(100)의 가공특성을 분석하였고, 동일한 방법을 적용해 다른 재료인 coating 소재의 가공 특성을 파악하였다. 결론적으로 본 연구는 다양한 coating소재의 기계적 특성 및 가공특성을 파악할 수 있는 방법론을 제시하였다. | - |
| dc.publisher | 한양대학교 | - |
| dc.title | AFM 및 광학이미지를 이용한 나노가공특성 분석 | - |
| dc.type | Theses | - |
| dc.contributor.googleauthor | 문홍주 | - |
| dc.sector.campus | S | - |
| dc.sector.daehak | 대학원 | - |
| dc.sector.department | 기계설계·메카트로닉스공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | - |
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