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2021-01 | Tungsten passivation layer (WO3) formation mechanisms during chemical mechanical planarization in the presence of oxidizers | 박진구 |
2019-09 | Ultrasound-induced break-in method for an incoming polyvinyl acetal (PVA) brush used during post-CMP cleaning process | 박진구 |
2013-12 | Wafer-scale nanowell array patterning based electrochemical mpedimetric immunosensor | 박진구 |
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