과황산칼륨 산화제가 코발트 플러그 화학적 기계적 연마에 미치는 영향에 관한 연구

Abstract

본 연구에서는 코발트(Co) CMP 과정에서 금속 박막의 제거에 중요한 역할을 하는 산화제 중 과황산칼륨(Potassium Persulfate)의 농도에 따른 코발트(Co) CMP 영향에 관한 연구를 진행하였다. 일반적으로 코발트(Co) CMP 슬러리는 산화제, 착화제, 킬레이트제, 부식방지제, 산 등과 같은 화학 성분들이 첨가되어 있다. 특히 산화제는 연마 메커니즘에 따라 코발트(Co) 표면을 산화시켜 코발트 산화막 형성을 촉진 시킬 수 있는 것으로 코발트(Co) 막질의 연마 특성을 가장 크게 좌우한다. 이렇듯 산화제의 농도의 변화에 따라 코발트(Co) CMP의 특성이 달라지기 때문에 최적의 산화제 농도 선정이 중요하다. 이를 위해 과황산칼륨(Potassium Persulfate) 산화제를 사용하여 코발트(Co) 막질의 높은 연마율과, 코발트(Co)와 실리콘 옥사이드의 높은 선택비를 얻기 위한 최적의 산화제 농도를 선정하는 연구를 진행하였다.