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Issue Date | Title | Author(s) |
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2006-05 | 고진공에서 이온 카운터를 사용한 실시간 입자모니터링 시스템의 개발 | 안강호 |
2006-10 | Deep RIE(reactive ion etching)를 이용한 가스 유량센서 제작 | 안강호 |
2006-10 | Development of in-situ SUB-100nm particle detection in vacuum system | 안강호 |
2006-07 | 고진공에서 이온 카운터를 사용한 실시간 입자 모니터링 시스템의 개발 및 성능평가 | 안강호 |
2006-05 | 진공 환경내 실시간 입자 모니터링 시스템의 개발 및 성능평가 | 안강호 |