Browsing "MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING(신소재공학부)" byAuthor안진호
Showing results 96 to 103 of 103
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2016-06 | 고 개구수 극자외선 노광 기술용 위상 변위 흡수체 구조의 설계 | 안진호 |
| 2016-07 | 그림자 효과 완화 및 내화학성 향상을 위한 탄탈륨-니켈 화합물 극자외선 흡수체 | 안진호 |
| 2017-02 | 극자외선 노광공정에서의 사이드 로브 세기와 포톤 샷 노이즈 효과가 컨택 홀 missing 현상에 미치는 영향 | 안진호 |
| 2016-09 | 극자외선 리소그라피에서의Sub-resolution assist feature를 이용한 근접효과보정 | 안진호 |
| 2019-02 | 나노스케일 질화규소 멤브레인의 기계적, 열적 특성 분석 | 안진호 |
| 2016-03 | 물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작 | 안진호 |
| 2016-03 | 스핀코터를 이용한 박막의 기계적 안정성 평가 | 안진호 |
| 2016-06 | 위상변위 극자외선 마스크의 흡수체 패턴의 기울기에 대한 오차허용도 향상 | 안진호 |
