Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 박진석 | - |
dc.date.accessioned | 2021-07-22T04:30:39Z | - |
dc.date.available | 2021-07-22T04:30:39Z | - |
dc.date.issued | 2000-07 | - |
dc.identifier.citation | 대한전기학회 학술대회 논문집, page. 1485-1487 | en_US |
dc.identifier.uri | https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE01346964 | - |
dc.identifier.uri | https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/162977 | - |
dc.description.abstract | RF magnetron sputtering 방법에 의한 구리-니켈 박막의 증착시, 두 개의 타겟을 이용하는 multi-targets co-sputtering 방법과, 한 개의 타겟위에 면적비의 변화가 가능한 chip을 부착하여 증착하는 방법 등 두 가지의 타겟 구성방법에 따라 각각 제작된 Cu-Ni 박막의 물성을 비교 분석하였다. | en_US |
dc.language.iso | ko_KR | en_US |
dc.publisher | 대한전기학회 | en_US |
dc.title | 마그네트론 코-스퍼터링에 의한 구리-니켈 합금박막 증착시 타겟의 구성방법에 따른 물성 분석 | en_US |
dc.title.alternative | Characterization of Cu-Ni alloy thin films deposited by magnetron co-sputtering as a function of target configurations | en_US |
dc.type | Article | en_US |
dc.relation.journal | 전기학회논문지(A,B,C,D) | - |
dc.contributor.googleauthor | 서수형 | - |
dc.contributor.googleauthor | 이재엽 | - |
dc.contributor.googleauthor | 박창균 | - |
dc.contributor.googleauthor | 박진석 | - |
dc.relation.code | 2012101073 | - |
dc.sector.campus | E | - |
dc.sector.daehak | COLLEGE OF ENGINEERING SCIENCES[E] | - |
dc.sector.department | DIVISION OF ELECTRICAL ENGINEERING | - |
dc.identifier.pid | jinsp | - |
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