LCD 제조용 스퍼터링 장비의 비접촉식 유리평판 이송 장치에 대한 수치적 연구

Abstract

In the present work, non-contact glass transportation unit is studied with the injection gas used in the 7th generations sputtering system. The gas is injected through multiple holes which are arranged on air-pad and levitates the glass plate used in LCD production. The flow pattern between the glass plate and air-pad and the pressure distribution on the glass plate are numerically examined to obtain the proper conditions in the design of air-pad. In the cost saving point of view, the mass flow rate of injection gas should be minimized. The uniform pressure distribution is also necessary for stable transportation. Numerical simulations are conducted with varying the distance of injection holes. The uniformities of pressure distribution on the bottom of the glass plate and the effects of hole pitch on the mass flow rate are presented in this work. The present results indicate that 130 mm of horizontal hole pitch(P1) and 90 mm of vertical hole pitch(P2) show the best performance on the uniform pressure distribution.; 본 연구는 7세대 LCD의 스퍼터링 장비에 사용되는 분사 기체를 이용한 비접촉식 유리평판 이송장치에 대하여 다루고 있다. 에어패드에 배치된 다수의 분사구에서 가스가 분사되어 LCD 제작에 사용되는 유리평판을 부상시키게 된다. 이때 사용되는 에어패드를 설계하기 위하여 유리평판과 에어패드 사이에서 발생하는 유동과 유리평판에 작용하는 압력분포를 수치적으로 해석하였다. 생산비의 절감을 위해 분사되는 유량은 최소화되어야 하며, 안정적인 이송을 위해 고르게 분산된 압력분포가 요구된다. 이를 위해 분사구 사이의 간격를 변화하여 계산을 수행하였으며, 그에 따라 유리평판 하부에 작용하는 압력의 균일도 및 분사유량의 변화를 비교하였다. 그 결과 압력균일도와 분사유량을 고려하였을 때 분사구의 가로간격이 130 mm, 세로간격이 90 mm인 경우가 에어패드 설계에 가장 적합한 것으로 나타났다.