CAIP법에 의한 SKD11강에 저온 CrN 막 합성과 밀착력 향상에 관한 연구

Abstract

본 연구는 진공 아크 이온플레이팅(CAIP)을 이용한 고경도, 내식성, 윤활성이 뛰어난 CrN 코팅에 대한 것이다. 실험에 사용된 기재는 SKD11으로 프레스, 몰드 등의 냉간 금형과 롤, 다이스, 게이지 등의 냉간 가공공구로서 널리 이용되고 있는 소재이다. 연구에서는 CrN을 합성하고 반응조건에 따른 밀착력 향상을 위한 공정에 대한 조사가 주요하게 이루어 졌다. 하드코팅에 있어 고경도막의 형성과 고밀착력은 막의 품질을 결정하는 매우 중요한 요인이며, 하드코팅의 적용에 있어 기저와의 밀착력은 최적공정의 일차 목표이다. 밀착력은 결정구조와 미세경도 등과 함께 코팅막의 기계적 특성을 나타내는 중요지표가 된다. 본 연구에서는 여러 변수에 의한 공정을 실시하였고 밀착력 향상의 주요한 요인에 대해 고찰하였다. 또한 공정압력과 바이어스 전압 그리고 아크방전 전류를 달리하여 미세구조 분석과 밀착력 특성 평가를 실시하였다