설계변수 표본에 근거한 마이크로 시스템 성능의 통계적 예측

Abstract

구조시스템을 설계할 때 설계변수가 가지는 불확정성을 고려하기 위해 확률론적 설계방법이 연구되어왔다. 하지만 지금까지의 연구들은 대부분 설계변수의 모집단을 알고 있다고 가정하여 시스템 성능의 통계적 분포를 예측하고 설계에 적용하였다. 하지만 현실적으로 설계변수의 모집단을 파악하는 것은 불가능하므로 설계변수의 표본의 통계량을 이용하여 시스템 성능을 예측하는 방법이 필요하다. 본 논문에서는 설계변수 표본에 근거하여 시스템 성능의 분포를 예측하는 과정을 제안하였고 간단한 예제를 통해 검증을 수행하였다. 또한 제안된 과정을 마이크로 시스템에 적용하였으며 적용예제로써 NC-AFM의 set point의 범위와 MEMS 자이로스코프의 성능지수의 범위를 설계변수 표본에 근거하여 통계적으로 예측하였다.