양이온 질량과 외장변수의 음이온 밀도와의 관계

Abstract

최근 들어 기술의 발달과 함께 플라즈마가 핵융합, 반도체, 폐기물 처리등에 이용되면서 주목 받고 있다. 이러한 플라즈마를 진단하는데 여러 방법들에 관심을 갖게 되고 더 구체적으로 측정 방법과 플라즈마의 변수들을 제어하는 것이 요구 된다. 그러하기 위해 플라즈마의 음이온 밀도와 I-V특성곡선의 관계를 파악하는 것이 중요한데 이전의 알려진 음이온 밀도 구하는 수식 두 가지 중 하나는 다른 두 개의 압력에서 두 개의 전기 탐침으로 측정한 I-V특성곡선에 의해 주어지는 것과 다른 세 개의 압력에서 한 개의 탐침으로 I-V특성곡선에서의 측정이 있다. 본 연구를 통하여 다른 세 압력에서 ESP(Electrostatic Probe)로 측정한 음이온 밀도를 이온 포화 전류, 전자 포화 전류, 전자 온도 비를 이용한 음이온 분수법(α(≡N-/ N+))을 이용하여 밀도 내의 질량과 외장요소가 음이온 밀도에 어떠한 영향을 끼치는지 I-V특성 곡선의 변화와 정성적이고 구체적인 관계를 보이고자 한다.