Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 심광보 | - |
dc.date.accessioned | 2019-12-04T06:33:48Z | - |
dc.date.available | 2019-12-04T06:33:48Z | - |
dc.date.issued | 2018-02 | - |
dc.identifier.citation | 한국결정성장학회지, v. 28, no. 1, page. 9-13 | en_US |
dc.identifier.issn | 1225-1429 | - |
dc.identifier.issn | 2234-5078 | - |
dc.identifier.uri | http://koreascience.or.kr/article/JAKO201809361757775.page | - |
dc.identifier.uri | https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/117300 | - |
dc.description.abstract | 본 연구에서는 고휘도 · 고출력 광학소자 제조에 GaN 기판으로서의 적용가능 여부를 평가하고자 HVPE 법으로성장된 bulk GaN 결정의 두께 증가에 따른 광학적 특성 변화를 분석하였다. HVPE를 이용하여 다양한 두께(0.4, 0.9, 1.5 mm 이상)의 2인치 GaN 기판을 제작한 뒤, 화학 습식 에칭, Raman, PL 등을 이용하여 기판의 결함밀도와 잔류응력 변화에따른 광학적 특성을 분석하였다. 이를 통해 제작된 GaN 기판의 결정 두께와 광학적 특성과의 상관관계를 확인하였으며, 동종기판의 제작을 통한 고성능 광학소자로의 응용가능성을 확인하였다.In this work, we investigated the variation of optical characteristics with the thickness of bulk GaN grown by hydride vapor phase epitaxy(HVPE) to evaluate applicability as GaN substrates in fabrication of high-brightness optical devices and high-power devices. We fabricated 2-inch GaN substrates by using HVPE method of various thickness (0.4, 0.9, 1.5 mm) and characterized the optical property with the variation of defect density and the residual stress using chemical wet etching, Raman spectroscopy and photoluminescence. As a result, we confirmed the correlation of optical properties with GaN crystal thickness and applicability of high performance optical devices via fabrication of homoepitaxial substrate. | en_US |
dc.description.sponsorship | 본 연구는 산업통상자원부에서 주관하는 소재원천기술 개발사업(과제번호: 10080599)과 (주)에임즈마이크론과 한양대학교 산학협력단의 산학공동 연구과제(과제번호:201600000002413)로 수행되었습니다. | en_US |
dc.language.iso | ko_KR | en_US |
dc.publisher | 한국결정성장학회 | en_US |
dc.subject | Bulk GaN | en_US |
dc.subject | Thickness | en_US |
dc.subject | Optical property | en_US |
dc.subject | Defect density | en_US |
dc.subject | Residual stress | en_US |
dc.title | HVPE로 성장시킨 bulk GaN의 두께에 따른 광학적 특성 변화 | en_US |
dc.title.alternative | Variation of optical characteristics with the thickness of bulk GaN grown by HVPE | en_US |
dc.type | Article | en_US |
dc.relation.no | 1 | - |
dc.relation.volume | 28 | - |
dc.identifier.doi | 10.6111/JKCGCT.2018.28.1.009 | - |
dc.relation.page | 9-13 | - |
dc.relation.journal | 한국결정성장학회지 | - |
dc.contributor.googleauthor | 이희애 | - |
dc.contributor.googleauthor | 박재화 | - |
dc.contributor.googleauthor | 이정훈 | - |
dc.contributor.googleauthor | 이주형 | - |
dc.contributor.googleauthor | 박철우 | - |
dc.contributor.googleauthor | 강효상 | - |
dc.contributor.googleauthor | 강석현 | - |
dc.contributor.googleauthor | 인준형 | - |
dc.contributor.googleauthor | 심광보 | - |
dc.contributor.googleauthor | Lee, Hee Ae | - |
dc.contributor.googleauthor | Park, Jae Hwa | - |
dc.contributor.googleauthor | Lee, Jung Hun | - |
dc.contributor.googleauthor | Lee, Joo Hyung | - |
dc.contributor.googleauthor | Park, Cheol Woo | - |
dc.contributor.googleauthor | Kang, Hyo Sang | - |
dc.contributor.googleauthor | Kang, Suk Hyun | - |
dc.contributor.googleauthor | In, Jun Hyeong | - |
dc.contributor.googleauthor | Shim, Kwang Bo | - |
dc.relation.code | 2018019304 | - |
dc.sector.campus | S | - |
dc.sector.daehak | COLLEGE OF ENGINEERING[S] | - |
dc.sector.department | DIVISION OF MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING | - |
dc.identifier.pid | kbshim | - |
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