플라즈마 코팅용 전원을 위한 컨버터 피드백 제어기법

Abstract

플라즈마 코팅 공정에서 부하 상태가 변동하게 될 경우, 전원에서 공급받는 전류가 변하게 되어 플라즈마 코팅 공정 전반에 걸쳐 영향을 미치게 된다. 기존에는 임피던스 매칭 네트워크 또는 튜너(tuner)를 이용하여 부하에서 매칭을 시도해왔는데, 이런 방법은 부하가 바뀌어야 하기 때문에 경제성이나 효율성이 떨어진다. 따라서 전원 자체가 부하에 맞추어서 제어될 수 있는 기술이 필요하다. 본 논문은 부하 변동에 상관없이 전류를 일정하게 공급할 수 있는 플라즈마 코팅용 전원 제어 기법을 연구하였다. 부하 전류의 변화량을 전원의 스위치로 피드백하여, 컨버터의 출력 전압을 제어하는 피드백 제어 기법이 제시되었다.