펄스레이저 증착법에 의한 Al2O3 입자 표면 위 TiO2 나노입자의 코팅

Abstract

266 nm 파장을 갖는 Nd : YAG 레이저를 이용한 펄스레이저증착법(PLD)에 의해 모재인 $Al_2O_3$ 입자표면에 코팅된 $TiO_2$ 나노 입자를 제조하였다. 펄스레이저 에너지는 100 mJ/pulse로 고정하였으며, 레이저가 $TiO_2$ 타겟에 조사되는 동안 아르곤 가스를 챔버 내로 공급하였다. 이때, 압력은 $1{\times}10^{-2}Pa$에서 100 Pa로 변화시겼다. 증착된 나노 입자의 형태와 특성에 대한 증착 압력의 효과는 투과전자현미경과 에너지 분산형 X선 분광기를 이용하여 조사하였다. 모재 표면($Al_2O_3$)에 흡착된 나노 입자는 거의 구형이며 10~30 nm의 크기를 갖는다. 증착된 나노 입자의 형태는 기체 압력에 큰 영향을 받지 않는다. 그러나, 증착된 나노입자의 크기와 결정성은 기체 분압이 증가함에 따라서 증가한다. 이 방법에 의해서, 증착된 나노입자의 크기와 결정성은 기체 압력에 의해서 쉽게 조정할 수 있다.Titanium dioxides nanoparticles coated aluminum oxide powders were fabricated by pulsed laser deposition (PLD) with Nd : YAG laser at 266 nm. The Pulse laser energy is 100 mJ/pulse. During the irradiation of the focused laser on the $TiO_2$ target, Ar gas is supplied into the chamber. The gas pressure is varied in a range of $1{\times}10^{-2}$ to 100 Pa. Titanium dioxides nanoparticles deposited aluminum oxide powders were characterized by using energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), high resolution transmission electron microscopy (HR-TEM), in order to understand the effect of Ar background gas on surface morphology and properties of the powders. The coated $TiO_2$ nanoparticles had nanosized spherical shape and the crystallite sizes of 10~30 nm. The morphology of coated $TiO_2$ nanoparticles is not affected by gas pressure. However, the particle size and crystallinity slightly increased with the increase of gas pressure. According to this technique, the size and crystallinity of nanoparticles can be easily controlled by controlling pressure during the laser irradiation.