| 2019 | 극 자외선 리소그래피용 펠리클 표면의 오염 입자에 의해 발생하는 열 응력 평가 | 박재훈 |
| 2018-02 | 극 자외선 리소그래피용 펠리클의 주름 및 결함이 5-nm 급 패터닝에 끼치는 영향 | 김국진 |
| 2008-08 | 극자외선 노광에서의 최적화 공정 조건 추출 | 장욱 |
| 2017-02 | 극자외선 리소그래피 용 마스크 표면 결함 측정을 위한 광기술 개발 | 김슬기 |
| 2010-08 | 극자외선 리소그래피에서 몬테카를로 방법과 감광제 재흐름 공정을 통한 패턴 거칠기에 관한 연구 | 조인욱 |
| 2020-02 | 극자외선 리소그래피용 펠리클 구조 연구와 선폭 거칠기 형성 이해를 위한 감광제 모델링 | 이성규 |
| 2017-02 | 극자외선 리소그래피용 펠리클의 공정 적용을 위한 기계적 안정성 영향 연구 및 평가 | 이현주 |
| 2020-02 | 극자외선 리소그래피용 펠리클의 열적 광학적 특성을 고려한 구조 최적화 | 박은상 |
| 2009-08 | 근적외선 분광타원해석기 개발 및 응용 | 이형주 |
| 2009-02 | 금속/Nb-doped SrTiO3 접합의 계면특성연구 | 박찬우 |
| 2017-08 | 내부 공진기형 주파수 배가 고출력 녹색 레이저 | 안상민 |
| 2021 | 노광 중 극자외선 마스크 및 펠리클의 열역학적 안정성 평가 | 반충현 |
| 2007-02 | 노광 후 굽기 공정에서의 온도와 시간에 따른 산확산 거리 | 박진백 |
| 2017-02 | 다결정 MoS2 박막 기반 광 검출기 반응 시간에서의 열처리 효과 | 신혜진 |
| 2009-02 | 다양한 pattern 에 대한 감광제 재 흐름 전산모사 | 박준민 |
| 2013-08 | 다양한 박막을 위한 Ellipsometry 및 Reflectometry 개발 연구 | 천혁녕 |
| 2020-02 | 단일 대물거울을 이용한 Micro-spot 분광 엘립소미터 개발 | 이찬양 |
| 2007-08 | 대어휘 음성인식기의 성능 개선 | 손경환 |
| 2016-08 | 레지스트 패턴의 가장자리 거칠기에 산 확산효과를 고려한 몬테카를로 시뮬레이션 | 정선영 |
| 2014-08 | 마그네트론 코-스퍼터링법으로 제작된 In-Sn-O, In-Sn-Zn-O 박막의 전기적 및 광학적 특성 | 김재준 |
