Repository at Hanyang UniversityCOLLEGE OF ENGINEERING SCIENCES[E](공학대학)INDUSTRIAL AND MANAGEMENT ENGINEERING(산업경영공학과)Articles
106
0
차세대 반도체 공정을 위한 실시간 수율관리시스템 아키텍처 구축에 대한 연구
- Title
- 차세대 반도체 공정을 위한 실시간 수율관리시스템 아키텍처 구축에 대한 연구
- Other Titles
- Development of Real-Time Fault Monitoring and Detection System for Next Generation Fa
- Author
- 허선
- Issue Date
- 2010-11
- Publisher
- 한국산학기술학회
- Citation
- 2010년 한국산학기술학회 추계 학술발표논문집, Page. 555- 558
- Abstract
- 차세대 반도체 산업은 제조공정의 미세화, 복잡화, 다단계화 등이 심화되고 이로 인해 제조원가의 절감을 위한 단위 Wafer당 보다 많은 칩을 생산할 수 있는 450mm 웨이퍼의 도입을 반드시 필요로 한다. 본 논문에서는 클러스터 툴을 주로 사용하는 450mm 웨이퍼 수율관리 개선 시스템의 구현방향과 상세 기능과 각 모듈에 대한 연구를 수행하였으며, 450mm 웨이퍼 생산체제 하에서 필요한 수율관리 시스템인 RTFMD 시스템을 제안 하였다.
- URI
- https://www.koreascience.or.kr/article/CFKO201032038375963.pdfhttps://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/182900
- Appears in Collections:
- COLLEGE OF ENGINEERING SCIENCES[E](공학대학) > INDUSTRIAL AND MANAGEMENT ENGINEERING(산업경영공학과) > Articles
- Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
