Repository at Hanyang UniversityCOLLEGE OF ENGINEERING SCIENCES[E](공학대학)ELECTRICAL ENGINEERING(전자공학부)Articles
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RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과
- Title
- RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과
- Other Titles
- Deposition of ZnO Thin Films by RF Magnetron Sputtering and Cu-doping Effects
- Author
- 박진석
- Issue Date
- 2000-12
- Publisher
- 대한전기학회
- Citation
- 전기학회논문지, v. 49C, no. 12, page. 654-664
- Abstract
- RF magnetron co-sputtering에 의하여 Cu-doped ZnO 박막을 증착하고, 다양한 증착조건에 따라, c-축 배향성, 비저항 등의 물성을 정량적으로 분석하였다.
- URI
- dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE01242045https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/162264
- ISSN
- 1229-246X
- Appears in Collections:
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