Rf 마그네트론 스퍼트링으로 제조된 퍼멀로이 박막의 자기이방성 조절을 위한 NdFeB 영구자석의 영향 및 자기특성 해석

Abstract

마그네트론 스퍼터링을 이용하여 퍼멀로이 박막의 제조시 요구되는 자기이방성 조절을 위하여 필요한 조건을 NdFeB자석과 3D 전산모사를 이용하여 평가하였으며,또한 같은 조건에서 제조된 박막의 특성을 조사하였다. 타겟과 기판과의 거리가 5 cm 인 경우 타겟 자석과 자기이방성 조절을 위품}여 장입된 영구자석의 상호 작용께 의하여 기판에 평행한 자속을 얻기 위한 조건이 전 산모사 결과 영구자석간의 거리 변화에 매우 민감하였으며,최적의 조건의 두 영구자석의 간격이 70 mm에서 가장 균질한 자속 을 대면적에서 얻을 수 있음이 확인되었다. 투입전력 450 W에서 기판에 장착시킨 NdFeB 자석간 거리(48, 60, 70, 80, 85 mm) 를 변화시칸 결과 포화자화 값은 10-12kG, 보자력은 0.2-1 Oe, 비저항은 20(iQcm의 값을 갖는 퍼멀로이가 제조되었으며,자기 적 이방성은 전산모사의 결과와 일치하였다. 그 결과 자석간의 간격이 70 mm에서 제조된 두께 lp n 퍼말로이의 유효투자율이 10 MHz에서 2500을 유지하는 결과를 얻었다.