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표면개질 방법을 이용한 플렉시블 유기발광소자의 초박막 금속 전극의 패턴 형성 방법

Title
표면개질 방법을 이용한 플렉시블 유기발광소자의 초박막 금속 전극의 패턴 형성 방법
Other Titles
A novel method for fabricating ultra-thin metal electrode with pattern formation by modifying the substrate surface for flexible organic light emitting diode
Author
배상경
Alternative Author(s)
Sang Kyung, Bae
Advisor(s)
김태환
Issue Date
2019-02
Publisher
한양대학교
Degree
Master
Abstract
스마트폰과 같은 정보통신기기의 발달과 함께 디스플레이 산업은 급격하게 성장해왔다. CRT의 개발 이래 평판 디스플레이는 끊임없는 진화를 하여 현재 액정디스플레이와 유기발광소자가 시장의 주를 이루고 있다. 디스플레이 강국인 한국뿐 아니라 일본, 중국, 미국 등에서도 치열한 경쟁으로부터 살아남기 위해 끊임없이 연구가 진행되고 있다. 공간의 편의성과 함께 휴대성이라는 편의를 추구함에 따라 차세대 디스플레이로서 휘어질 수 있는 표시장치가 각광받고 있다. 휘어질 수 있는 디스플레이를 요구함에 따라 자연스레 유연한 전극이 필요하게 되었다. 기존의 이용되는 패턴 형성 기술로는 포토리소그래피가 일반적이다. PR을 코팅하고 패턴형성을 위한 마스크를 부착한 후 노광처리, 감광된 부위를 현상하고 식각용액으로 전극을 식각한 후에 PR을 제거하는 복잡한 공정이다. 이러한 공정상의 복잡성은 원가적인 측면에서 매우 불리하다. 디스플레이의 기술적 요소 뿐 아니라 시장에서의 원가적인 측면 또한 고려하는 것이 진정한 차세대 디스플레이에 대한 연구라고 할 수 있다. 또한 화학성분으로부터 기판의 화학적 손상을 불러일으킬 수 있기 때문에 새로운 대안을 찾기 위한 연구가 필요하다. 최근에 이러한 공정의 복잡성 및 화학적 영향을 막기 위해 레이저를 이용한 직접 식각이나 쉐도우 마스크를 이용하여 패턴을 직접 증착하는 방법이 사용되고 있다. 레이저를 이용한 직접 식각 공정은 고출력 레이저를 이용해 제거되어야 할 부분에 직접 조사하여 적극을 제거하거나 마스크를 제거하는 방법을 사용하며, 공정이 단순하고 공정 적용성이 좋은 장점이 있지만 비용이 매우 크다는 단점이 있다. 쉐도우 마스크를 이용하여 패턴을 직접 증착하는 공정은 전극 증착시 세밀한 형태의 마스크를 통해 패턴을 직접 형성하는 방법을 사용하며, 단순한 공정이라는 장점이 있지만 대면적 디스플레이 적용시 크기가 커지에 따라 마스크의 처짐 현상으로 이로 인한 패턴의 변형 문제와 공정 비용이 증가하는 문제가 있다. 본 연구에서는 플렉시블 소자를 구현하기 위한 전극 공정에 대한 연구이다. 공정상의 복잡한 단계를 줄일 수 있는 새로운 방법을 제시하였고 플렉시블 유기발광소자에 적용할 수 있는 유연한 막의 표면 물성을 조사하였다. 전극으로서 활용될 수 있도록 공정상에 필요한 여러 요소들에 대해 최적화 된 조건을 확립한 후 전극을 제작하여 실제 어플리케이션에 적용하였다. 이를 토대로 제작된 플렉시블 유기발광소자의 발광이 구현됨을 확인하여 본 연구의 결과로 차세대 플렉시블 전자소자의 공정에 활용될 수 있을 것으로 기대한다.
URI
https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/99751http://hanyang.dcollection.net/common/orgView/200000435424
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GRADUATE SCHOOL[S](대학원) > INFORMATION DISPLAY ENGINEERING(정보디스플레이공학과) > Theses (Master)
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