Results 1-3 of 3 (Search time: 0.003 seconds).
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2005-09 | Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향 | 박진구 |
2005-09 | Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향 | 박진구 |
2007-00 | Effect of slurry pH on poly silicon CMP | 박진구 |