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Issue Date | Title | Author(s) |
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2004-02 | A 3D Numerical Study of the Polishing Behavior during an Oxide Chemical Mechanical Planarization Process | 이도형 |
2003-12 | CFD를 이용한 CMP Pad Groove 형상 설계 연구 | 이도형 |
2003-11 | Oxide CMP 과정에 대한 수치 유동 해석 | 이도형 |