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Issue Date | Title | Author(s) |
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2015-03 | Impact of the non-uniform intensity distribution caused by a meshed pellicle of extreme ultraviolet lithography | 안진호 |
2016-03 | 스핀코터를 이용한 박막의 기계적 안정성 평가 | 안진호 |
2016-03 | EUV pellicle 의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가 | 안진호 |
2016-03 | 물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작 | 안진호 |