Fabrication of Organic‒Inorganic Hybrid Thin Films Using Atomic Layer Infiltration and Their Application to Thin Film Encapsulation

Abstract

This thesis describes the fabrication of organic-inorganic hybrid thin films via atomic layer infiltration (ALI) technique. The purpose of this research is to develop a various high quality hybrid thin films and apply them to diverse fields such as organic solar cell and organic light emitting diodes (OLEDs). The encapsulation properties of the hybrid thin films can be easily optimized by controlling the ALI process conditions. By synergistic combination of polymer and inorganic materials, polymer-inorganic hybrid thin films can take advantage of both materials and provide improved properties in the industrial field. Furthermore, polymer-inorganic hybrid thin films for stretchable displays are also manufactured using ALI technique and gas encapsulation performance is evaluated. These studies demonstrate that polymer-inorganic hybrid thin films fabricated by ALI method has been successfully applied to secondary solar cell and OLEDs with high performance and stability.|이 논문은 원자층 증착법을 응용한 원자층 침투법 기술을 통한 고분자‒ 무기 복합 박막의 개발을 설명한다. 본 연구의 목적은 고밀폐성과 유연성을 가지는 고분자-무기 복합 박막을 개발하고 이를 전자 장치와 같은 다양한 분야에 적용하는 것이다. 원자층 침투법은 고분자 필름 내의 자유 부피에 무기막을 반응시키는 방법으로 고분자의 유연성과 무기막의 밀폐성을 가지는 복합 박막의 제조를 가능하게 하며, 두 재료의 상승 효과에 의해 향상된 특성을 가질 수 있다. 원자층 침투법을 사용하여, 다양한 고분자‒무기 복합 박막을 제조하였고 이를 이용하여 신축성 디스플레이용 복합 박막을 제조하고 가스 봉지 특성을 평가하였다. 이러한 연구를 통해 원자층 침투법에 의해 제조된 고분자‒무기 복합 박막이 고성능 및 우수한 안정성을 가지는 전자 장치에 성공적으로 적용되었음을 입증하였다.