Repository at Hanyang UniversityGRADUATE SCHOOL[S](대학원)MATERIALS SCIENCE & ENGINEERING(신소재공학과)Theses (Master)
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 최덕균 | - |
| dc.contributor.author | 이평수 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-02-24T16:31:23Z | - |
| dc.date.available | 2021-02-24T16:31:23Z | - |
| dc.date.issued | 2021. 2 | - |
| dc.identifier.uri | https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/159623 | - |
| dc.identifier.uri | http://hanyang.dcollection.net/common/orgView/200000485337 | en_US |
| dc.description.abstract | ALD 전구체의 비 침습적 검사법을 통하여 BTBAS 물질의 ALD 표면 반응과 패턴 형성에 대해 이해하고, 기존에 사용중인 전구체 물질에 대한 조사를 통하여 800℃ 이상의 고온에서 사용하는 방식이 아닌 화학 흡착(chemisorption) 반응을 이용한 저온에서도 ALD 증착이 가능하다. | - |
| dc.publisher | 한양대학교 | - |
| dc.title | ALD 반응에서 BTBAS Precursor의 화학 흡착 효과를 이용한 저온 상태에서의 표면 증착 | - |
| dc.type | Theses | - |
| dc.contributor.googleauthor | 이평수 | - |
| dc.sector.campus | S | - |
| dc.sector.daehak | 대학원 | - |
| dc.sector.department | 신소재공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | - |
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