모세관힘 리소그래피를 통한 임프린팅 방법으로 만든 단결정 유기패턴 박막

Abstract

본 연구는 모세관 힘 리소그래피 (VC-LCG via CLF)를 통해 수직으로 제한된 측면결정 성장을 통해 대면적 단결정 유기 박막에 대한 원스텝 제조 방법에 관한 연구이다. 이 방법에서 잉크 용액의 유기 분자는 패턴이 있는 몰드의 수직으로 제한된 채널 내에서 자체 조립 및 결정화 된다. 채널 깊이에 의해 결정되는 수직 제한은 단결정 유기 박막의 결정화 및 형성과 관련하여 중요한 역할을 한다. 우리는 또한 고성능 및 균일하게 분포된 전기적 특성을 가진 단결정 유기 박막 트랜지스터의 웨이퍼 스케일 어레이를 제작함으로써 그 유용성을 입증했는데, 이는 대규모 단결정 특성, 균일한 필름 형태 및 다중 결정 배향 억제에 기인할 수 있다. 특히 다양한 유기 분자에 대한 다용도성, 가공 최적화의 용이성, 패턴 영역 전체에 걸쳐 균일한 결정도는 VC-LCG가 산업 공정에 적용될 높은 가능성을 시사하였다.