Repository at Hanyang UniversityCOLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY[E](과학기술융합대학)APPLIED PHYSICS(응용물리학과)Articles
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초음파 분무 증착법으로 제조한 (Ba,Sr)RuO3 산화물 전극의 증착 특성
- Title
- 초음파 분무 증착법으로 제조한 (Ba,Sr)RuO3 산화물 전극의 증착 특성
- Other Titles
- Deposition characteristics of (Ba,Sr) RuO3 thin films prepared by ultrasonic spraying deposition
- Author
- 김옥경
- Issue Date
- 2001-03
- Publisher
- 한국결정성장학회
- Citation
- 한국결정성장학회지, v. 11, no. 3, page. 111-114
- Abstract
- 초음파분무를 이용한 MOCVD법으로 전도성 산화물 (Ba,Sr)RuO3 박막을 Si(100) wafer위에 제조하였다. XRD 측정 결과 BSR박막은 (110) 배향성을 가지고 성장하였으며 500∘C 이상의 증착온도에서 결정성장이 양호하였다. Ba과 Sr의 조성비의 차이에 따라 AFM 측정결과 Ba에 대한 Sr의 비가 증가함에 따라 grain크기가 증가하였다. 또한 비저항의 측정을 통해 Ba에 대해 Sr의 비의 증가에 따라 BSR 박막의 비저항이 415에서 261μΩ⋅cm로 감소하였다.
- URI
- https://scienceon.kisti.re.kr/srch/selectPORSrchArticle.do?cn=JAKO200111920758040https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/158614
- ISSN
- 1225-1429
- Appears in Collections:
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