Repository at Hanyang UniversityCOLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY[E](과학기술융합대학)APPLIED PHYSICS(응용물리학과)Articles
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 오혜근 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-02-09T04:38:13Z | - |
| dc.date.available | 2021-02-09T04:38:13Z | - |
| dc.date.issued | 2002-11 | - |
| dc.identifier.citation | 한국반도체장비학회지, v. 2, no. 2, page. 1-4 | en_US |
| dc.identifier.uri | https://scienceon.kisti.re.kr/srch/selectPORSrchArticle.do?cn=NPAP08077440&dbt=NPAP | - |
| dc.identifier.uri | https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/157957 | - |
| dc.description.abstract | Rotating compensator spectroscopic ellipsometry의 개발과 그의 응용에 대하여 연구하였다. Spectroscopic ellipsometry는 편광된 빛이 물체의 표면에서 반사된 후 빛의 편광된 상태를 넓은 파장의 영역에 걸쳐서 측정하여 그 물질의 광학적 특성을 알아 낼 수 있는 기술이다. RCSE의 경우 얇은 투명 박막에 보다 정확한 값을 줄 뿐만 아니라, 박막의 균질도를 알 수 있는 편광 정도을 측정을 할 수 있다. 본 장비의 측정 시간은 십여 초 정도이고, 분광 범위는 1.5 eV ~ 4.5 eV이다. RCSE를 이용한 박막의 광학적 물성과 두께 그리고 deep-UV용 감광제의 선폭을 측정하였다. | en_US |
| dc.language.iso | ko_KR | en_US |
| dc.publisher | 한국반도체장비학회 | en_US |
| dc.title | Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometry 의 개발 및 응용 | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| dc.contributor.googleauthor | 이재호 | - |
| dc.contributor.googleauthor | 방경윤 | - |
| dc.contributor.googleauthor | 박준택 | - |
| dc.contributor.googleauthor | 오혜근 | - |
| dc.contributor.googleauthor | 안일선 | - |
| dc.sector.campus | E | - |
| dc.sector.daehak | COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY[E] | - |
| dc.sector.department | DEPARTMENT OF APPLIED PHYSICS | - |
| dc.identifier.pid | hyekeun | - |
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