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Spin coating을 위한 simulator 개발 및 일정치 않은 빛 속도를 지닌 우주론에 대한 연구

Title
Spin coating을 위한 simulator 개발 및 일정치 않은 빛 속도를 지닌 우주론에 대한 연구
Other Titles
Simulator implementation for spin coating and study of cosmology with varying speed of light
Author
최연주
Alternative Author(s)
Choi, Yeon Ju
Advisor(s)
권영헌
Issue Date
2008-08
Publisher
한양대학교
Degree
Master
Abstract
본 논문은 2부로 이루어졌다. 1부에서는 현재 반도체 공정중 PR(Photo Resist)coating을 위한 방법중 하나인 spin coating 시뮬레이터를 개발하였다. 이는 PR의 uniformity를 최적화 하기 위한 실험 도구로 사용되어, 두께의 비균일성에서 오는 오차를 최대한 줄여 생산에서의 손실을 최소화 하는데 도움을 줄 수 있을 것이라고 생각된다. 유체 운동에 대한 방정식으로부터 물리적 model을 세운 후, Mathematica 프로그램을 사용하여 이 방정식에 대한 수치해를 분석하였다. 그 후 MFC(Macrosoft Foundation Class)을 사용하여, 현장에서 실행가능 한 프로그램을 만들었다. 2부에서는 VSL(Variable Speed of Light)에 대한 연구를 하였다. 가변 광속 이론이 등장하기 전에는 아인슈타인의 ‘광속 불변의 법칙’으로 인해, 어느 관성계에서나 빛의 속도는 항상 똑같으며, 그 무엇도 빛보다 빠를 수는 없다 여겨져, 빛의 속도는 언제나 상수로 취급되어져 왔다. 이에 반해 가변 광속 이론(VSL:Variable Speed of Light)은 일반적으로 c로 표현되는 진공에서의 빛의 속도가 여러가지 이유들로 인하여 상수가 아닐지도 모른다고 주장하는 이론이다. 가변 광속 이론은 Jean-Pierre Petit, John Moffat, Andreas Albrecht and Joan Magueijo에 의하여 인플레이션 이론을 대신하여 우주의 여러가지 문제들을 설명하기 위해 제안되어 왔다. 이들은 시간의 함수 c를 도입하는 것에서부터, 여러 기초 상수들 모두를 시간의 함수로 표현하는 것을 포함하여, c를 시공간의 함수로 표현하는 것까지 다양한 모델들을 제시하였다. 본 논문 2부에서는 빛의 속도가 변화하는 우주 모델을 세우고, 이 모델에 대한 물리적인 성질을 연구해 보고자 한다.
The paper is organized into two parts. In Section1 we study the spin coating simulator that is one among the methods of PR(photo resist) coating of semiconductor process. This simulator will become helpful to find the optimized uniformity of PR. It will reduce errors caused by the non-uniform thickness. After setting up the necessary equations for the problem, we obtain the numerical solution for them. And we develop the program for obtaining the solution, using the MFC. In section 2, the cosmology with VSL(Variable Speed of Light) is studied. We can assume that the speed of light may not be constant. In this paper, we show that the cosmology with VSL may naturally solve the cosmological horizon problem.
URI
https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/146518http://hanyang.dcollection.net/common/orgView/200000409532
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GRADUATE SCHOOL[S](대학원) > APPLIED PHYSICS(응용물리학과) > Theses (Master)
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