나노급 표면품위 유지를 위한 유연 자기연마시스템 개발

Abstract

기술과 산업의 발달로 보다 높은 수준의 정밀도를 요구하는 미세 부품의 수요가 늘고 있다. 하지만 미세 부품의 특성상 손이 많이 가고 크기도 작고 미세하여 자동화가 어려운 실정이다. 일반적인 연삭가공에서는 여러가지 방법을 통해 표면거칠기를 모니터링 하는 시스템 구축이 이루어지고 있고 가공 중 공구의 파손에 대하여 예측하고 감시하는 연구는 많이 이루진 상태이지만 자성연마입자 공정 중의 대상물의 표면거칠기에 대한 연구는 많지 않다. 또한 MAP 공정 중에 상태 변수를 실시간으로 얻을 수 없고 가공 결과에 영향을 미치는 인자들이 매우 복잡하기 때문에 현재까지 연마 메커니즘에 대한 정확한 이론이 확립되지 못했다.이러한 단점 때문에 MAP 공정을 이용하여 원하는 표면 거칠기 및 가공 성능을 구현하기 위한 공정제어에 어려움이 있었다. 본 논문에서는 AE Sensor 와 Force Sensor의 sensor fusion을 통해 표면거칠기를 예측할 수 있었고 MAP공정의 목표 표면 거칠기를 유지하기 위해 Run-to-run 공정 제어 기법을 적용하여 공정 최적화 및 제어를 위한 모델을 구현 하러 한다.