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정전기 제거장치의 성능평가방법 개발

Title
정전기 제거장치의 성능평가방법 개발
Author
전지훈
Advisor(s)
안선응
Issue Date
2011-08
Publisher
한양대학교
Degree
Master
Abstract
FPD(Flat Panel Display) 및 반도체 제조공정에 다양하게 사용하는 정전기 제거장치 성능평가에서 표준시험 방법은 설치 위치를 고정하여 측정하였다. 그러나 제조 공정이 다양하여 설치위치 변경에 따른 측정 값 활용에 대한 문제점이 야기되었다. 본 연구에서는 다양한 제조 공정에 적용할 수 있는 정전기 제거장치 성능평가 방법을 개발하기 위하여 청정부스 제작, 이오나이저 이송장치 개발, 측정 소프트웨어 개발, 측정 데이터 정규성 검증, 측정 데이터 활용법 제시를 목적으로 연구를 진행하였다. 표준에서 제시한 측정 높이 450 ㎜에서 이오나이저 성능을 평가했을 때 측정 데이터 회귀직선식을 적용할 수 없었지만, 표준시험 방법 이외에 측정 높이 600, 750, 900, 1 050 ㎜를 추가로 측정하여 회귀직선식을 적용할 수 있었다. 이 통계적 분석법을 적용하면 다양한 제조 공정에서 설치 위치 변경에 따른 측정값 계산이 가능하여 정전기 제거장치의 납품 및 유지 보수에 유용한 정보로 활용될 것이다.
URI
https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/138577http://hanyang.dcollection.net/common/orgView/200000417933
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GRADUATE SCHOOL OF INDUSTRIAL ENGINEERING MANAGEMENT & DESIGN[E](산업경영디자인대학원) > DEPARTMENT OF INDUSTRIAL AND MANAGEMENT ENGINEERING(산업경영공학과) > Theses (Master)
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