Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 이성환 | - |
dc.contributor.author | 최동호 | - |
dc.date.accessioned | 2020-03-17T17:11:50Z | - |
dc.date.available | 2020-03-17T17:11:50Z | - |
dc.date.issued | 2012-02 | - |
dc.identifier.uri | https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/137863 | - |
dc.identifier.uri | http://hanyang.dcollection.net/common/orgView/200000418264 | en_US |
dc.description.abstract | 본 연구는 마이크로-나노 스케일의 구조물을 AFM machining을 통해 생성시킨 후 Magnetic abrasive finishing 공정을 거쳐 양질의 패턴형상을 생성/유지 시키기 위한 시스템개발이 목적이다. Pyrex glass와 IZO코팅층의 AFM scratching 실험을 수행하여 force-depth와의 관계를 알아보고 IZO코팅층의 증착높이를 규명하였다. 그리고 가공 mode를 3가지 case로 나누어 AFM machining에 적합한 경우를 AE센서를 활용하여 pile-up/chip/crack 영역의 특성을 이용하여 규명하였다. 그리고 기존 MAF(Magnetic Abrasive Finishing) 공정의 특성을 활용하여 마무리 공정에 적합한 연마 입자 제조 및 공정조건 분석 등을 수행하고, 실험계획법으로 설정된 polishing parameter를 기반으로 마무리 공정을 수행한다. 마무리 공정이 끝난 시료는 FE-SEM, AFM을 이용하여 표면을 측정하고, 측정된 값을 활용하여 Run-to-Run 제어기법에 적용하여 안정적인 마무리공정 제어 기술을 확립한다. | - |
dc.publisher | 한양대학교 | - |
dc.title | AFM 머시닝과 자성입자연마를 이용한 나노 스케일 패터닝 기술 개발 | - |
dc.title.alternative | Development of Nano Scale Patterning technology Using AFM Machining and Magnetic Abrasive finishing | - |
dc.type | Theses | - |
dc.contributor.googleauthor | 최동호 | - |
dc.contributor.alternativeauthor | Choi, Dong ho | - |
dc.sector.campus | S | - |
dc.sector.daehak | 대학원 | - |
dc.sector.department | 기계설계·메카트로닉스공학과 | - |
dc.description.degree | Master | - |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.