반도체 제조공정의 설비 사용 이력 기반 계측시스템 설계 및 구현

Abstract

반도체 제조 공정은 제품을 가공하여 생산하는 생산 공정과 가공생산이 된 제품의 양품 여부를 확인하기 위한 계측 공정으로 이루어져있다. 반도체 제조 공정에서는 제품의 일부를 추출하여 계측을 하는 샘플링 계측을 실시 한다. 샘플링 계측에서 사용하는 기준은 다양하다. 계측 기준은 한 가지의 기준을 적용하기 보다는 다양한 기준을 복합적으로 조합하여 고려할 필요가 있다. 본 논문에서는 생산 설비 사용 이력을 기반으로 계측 여부를 결정하는 시스템(HbMS: equipment use History based Measurement System)을 제안한다. HbMS에서 계측 여부를 결정하기 위해 Category와 Factor를 정의한다. Category는 생산설비에 관한 속성을 Usage와 Interval 두 가지로 구분을 하고, Factor는 Equipment, Condition, Process, Product로 네 가지를 선정했다. 두 개의 Category와 네 개의 Factor를 세 개씩 조합을 하여 계측 여부 기준으로 결정했다. HbMS는 관리 대상 설비, 설비별 Factor에 대한 Spec과 생산 및 계측 공정을 기준정보로 입력하고, 설비별 Factor에 대한 현재 상태값, 설비별 생산 이력과 계측 여부 결과를 출력한다. 계측 여부 결과에는 계측 대상, 계측 미대상, 계측 대상제외, 후속 계측 인계가 있다. 제안하는 HbMS를 이용하여 반도체 제조 공정에 관련한 엔지니 어 및 담당자가 설비에 대한 계측 관련 정보를 설정하고 결과를 확인하여 반도체 제품 생산에 활용할 수 있게 하였다.|This thesis suggests HbMS(equipment use History based Measurement System). We define Category and Factor to decide whether measuring or not. Category has two attributes which are Usage and Interval. And Factor is Equipment, Condition, Process and Product. The information that should be registered in HbMS is equipment, Factor specification and process. The output is firstly current value of Factor and secondly history and assessment result of measurement. It is possible to apply semiconductor product production as measurement information is set and confirmed for engineer who is related in semiconductor manufacturing process using HbMS.; This thesis suggests HbMS(equipment use History based Measurement System). We define Category and Factor to decide whether measuring or not. Category has two attributes which are Usage and Interval. And Factor is Equipment, Condition, Process and Product. The information that should be registered in HbMS is equipment, Factor specification and process. The output is firstly current value of Factor and secondly history and assessment result of measurement. It is possible to apply semiconductor product production as measurement information is set and confirmed for engineer who is related in semiconductor manufacturing process using HbMS.