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노즐 형상에 따른 EHD 패터닝 특성 변화

Title
노즐 형상에 따른 EHD 패터닝 특성 변화
Author
김영준
Advisor(s)
오제훈
Issue Date
2014-02
Publisher
한양대학교
Degree
Master
Abstract
Electrohydrodynamic (EHD) printing 기술은 노즐부에 전압을 인가하고 하부 전극에 그라운드 전압을 인가하여 노즐과 하부 전극 사이에 전기장을 형성시켜 잉크를 토출시키는 직접 인쇄 기술의 하나이다. 대표적인 직접 인쇄 기술인 잉크젯 프린팅 기술 (Inkjet printing technology) 은 노즐의 내경에 따라 패턴의 해상도가 크게 좌우되어 고해상도의 패턴을 형성하는데 있어 한계가 있지만, EHD 프린팅 기술은 이러한 잉크젯 프린팅 기술의 한계점을 극복하여 노즐 내경보다 훨씬 작은 패턴의 형성이 가능하다는 장점이 있다. 본 논문에서는 일반적으로 사용하는 평면 형태의 노즐이 아닌 사선 형태의 노즐을 사용하여 메니스커스의 크기를 줄이고 이로부터 고해상도의 패턴을 제작하는 방법을 제시한다. 평면 노즐의 고해상도 패터닝의 한계점에 대해서 실험적으로 증명한다. 또한 사선 노즐과의 간단한 비교를 통해 사선 노즐 사용시 메니스커스의 크기를 줄일 수 있어 고해상도 패터닝에 유리하다는 것을 실험적으로 증명한다. 사선 노즐 사용시 노즐과 기판 표면 사이의 거리, 인가 전압, 그리고 스테이지 속도가 패터닝에 미치는 영향에 관한 연구를 진행하고 이를 최적화 한다. 또한 최적화된 프린팅 조건에서 0.7 ㎛ 선폭의 고해상도 패턴을 제작할 수 있음을 확인하였다. 마지막으로 최적화된 공정조건으로 제작된 패턴의 성능을 확인하고자 패턴의 저항을 측정하여 비저항을 계산하였다.
URI
http://dcollection.hanyang.ac.kr/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000075641https://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/131570
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