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Browsing byAuthor김곤호

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2001-01The measurement of nitrogen ion species ratio in the inductively coupled plasma source ion implantation김곤호
2001-01Measurement of sheath expansion in plasma source ion implantation김곤호
2001-04Plasma Source Ion Implantation for Ultrashallow Junctions: Low Energy and High Dose Rate김곤호
2001-07Scaling Characteristics of Plasma Parameters for Low-Pressure Oxygen RF discharge Plasmas김곤호
2001-02안테나 형태에 따른 대면적 ICP 플라즈마의 균일도 변화에 관한 연구김곤호
2001-02안테나 형태에 따른 대면적 ICP 플라즈마의 균일도 변화에 관한 연구김곤호
2001-02약한 외부 자장에 의한 유도 결합형 플라즈마에서의 Helicon Wave김곤호
2001-02약한 외부자장에 의한 유도결합형 플라즈마에서의 Helicon wave 발생에 관한 연구김곤호
2002-01운전압력 변화에 따른 마이크로파 공기 플라즈마의 특성연구김곤호
2001-04웨이블렛 변환을 이용한 정전 탐침 자료분석김곤호
2002-09유도 결합형 플라즈마에서 In-situ 플라즈마 전자밀도 측정방법 연구김곤호
1999-12유도결합형 Ar / CH₄ 플라즈마를 이용한 ITO의 식각 특성에 관한 연구김곤호
2001-07유한 오름 시간을 갖는 음전위 펄스에서 시변환 플라즈마 덮개의 거동 연구김곤호
2001-10정전 용량변화에 따른 대기압 DBD 반응기의 동작특성 연구김곤호
2001-03정전 탐침을 이용한 유도 결합형 반응기에서 발생하는 산소 플라즈마의 특성연구김곤호
2001-02정전탐침을 이용한 ICP Plasma 에서의 E- H mode 변환에 관한 연구김곤호
2001-07정전탐침을 이용한 유도 결합형 반응기에서 발생하는 산소 플라즈마의 특성연구김곤호
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