SEMI Standard를 기반으로 Host통신 시스템 구현 방안

Abstract

SEMI Standard는 국제반도체협회(Semiconductor Equipment and Materials International)에서 발간하는 단체 표준으로, 반도체 제조공정에 사용되는 사양, 가이드라인, 시험방법, 용어설명 등을 기록한 문서이다. 본 논문에서는 SEMI Standard에서 특히 자동화 관련된 GEM(E30), HSMS(E37) 그리고 SECS2(E5)를 기반으로 Host와 Equipment간에 통신방법을 알아보고 기존 시스템이 가지고 있는 한계를 인지하고 극복할 수 있는 연구방안을 제안하였다. SEMI는 반도체장비 및 재료업체들이 모여서 만든 단체이기때문에 가장 기본이 되는 protocol은 표준을 따르지만 그 구현에 있어서 업체 자체의 patent나 security로 인해 그 자료 및 정보가 극히 제한 되어있는 매우 폐쇄적인 단체이다. 또한 이로 인해 업체별로 Item Format등이 다 다르고 특정 필요기능만 구현 되어있다. 본 논문에서는 표준 Item Format을 제공하여 통합적이고 범용적인 시스템구현을 위한 연구방안을 제안하였다. SEMI Standard에서 제시하는 maximum sample rate인 1Hz로 Data를 gathering해서 나온 성능 테스트를 한 값과 본 논문에서 제시하는 maximum sample rate인 10Hz로 Data gathering해서 테스트한 결과값을 비교 하는 성능 테스트 과정을 거쳤다. 본 논문에서는 1Hz나 10Hz모두 Spec에서 제시하는 tolerance내로 data gathering 됨을 확인하였으며 Reporting item수를 10개에서 50개로 늘림으로써 Traffic burden을 높여서 1Hz나 10Hz모두 Tolerance내에서 정상 data gathering됨을 확인할 수 있었다.