PMMA Interlayer를 이용해 유연한 기판에 전사된 Single layer Graphene의 Wrinkle 특성 연구

Abstract

본 논문에서는 LPCVD 장비를 이용해 촉매금속인 구리 위에 단일층 graphene을 성장시켰다. 구리 위에 성장한 Graphene의 다양한 응용과 그 특성을 파악하기 위해 Wet transfer 및 Dry transfer 방법을 이용하여 Si/SiO2 기판뿐만 아니라 유연한 기판에 전사하였다. 특히 유연한 기판에 graphene을 전사하기 위해 Adhesion layer를 이용하여 간단하고 효과적으로 전사하는 방법을 고안하여 유연한 기판 위에서 외부의 열에너지에 의해 변화하는 graphene film의 모습을 관찰하였다. 단일층 graphene은 탄소원자 하나의 두께를 갖는 매우 얇은 유연한 film으로 유연한 기판에 전사되었을 때 두 층 사이의 탄성 특성의 불일치로 발생하는 Wrinkle이 발생하는데 이 특성을 파악하기 위해 Interlayer를 사용해 유연한 기판에 전사하고 복합 film의 영률을 계산하여 graphene film의 영률을 추출했다. 그리고 graphene film의 size를 조절하고 유연한 기판 표면을 조절하여 graphene film의 Wrinkle을 제어하는 방법을 고안하였다.