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Issue Date | Title | Author(s) |
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2018-02 | 극 자외선 리소그래피용 펠리클의 주름 및 결함이 5-nm 급 패터닝에 끼치는 영향 | 김국진 |
2018-02 | 마스크 3차원 효과를 고려한 고 개구수 비균등극 자외선 광학계의 패터닝 특성 평가 | 김인선 |
2018-02 | 변형된 극 자외선 마스크 흡수체 구조가 패터닝에 미치는 영향과 결함 방지를 위한 펠리클 적용 | 고기호 |