Results 1-6 of 6 (Search time: 0.002 seconds).
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2018-02 | 큰 개구수를 위한 비균등 리소그래피 공정에서의 방향에 따른 보조 패턴의 영향 | 최재근 |
2018-02 | 마스크 3차원 효과를 고려한 고 개구수 비균등극 자외선 광학계의 패터닝 특성 평가 | 김인선 |
2018-02 | 변형된 극 자외선 마스크 흡수체 구조가 패터닝에 미치는 영향과 결함 방지를 위한 펠리클 적용 | 고기호 |
2018-02 | 고출력 Nd:YVO4 MOPA 레이저 시스템에 관한 연구 | 노승현 |
2018-02 | 7-nm 급 패터닝에서 극 자외선 리소그래피 광학계 수차에 의한 선폭 왜곡 평가 | 황정구 |
2018-02 | 극 자외선 리소그래피용 펠리클의 주름 및 결함이 5-nm 급 패터닝에 끼치는 영향 | 김국진 |