이중 노광 홀로그래픽 리소그라피

Abstract

최근, 평판 디스플레이 발달로 대면적 리소그라피 기술을 요구하고 있다. 본 논문에서는 홀로그래픽 리소그라피를 이미지 스티칭 방법으로 이를 해결하려고 한다. 홀로그래픽 리소그라피는 높은 분해능의 영상을 표면에 인쇄하게 한다. 또 이미지 스티칭 방법은 전체 면적을 작은 조각으로 나누어 기록한 후 재생할 때 각 조각들의 영상을 붙여서 전체 면적을 인쇄한 효과를 나타낸다. 그러나 이 두 방법을 병행함에도 불구하고 기록한 영상을 재생하면 각 조각들의 연결부에 노이즈가 발생함을 관찰할 수 있다. 그 원인은 가간섭성의 광원에 의해 영상의 연결부위에 발생하는 간섭무늬이다. 본 논문에서는 간섭무늬 제거를 위해 홀로그램의 다중화에 대해 적용하였고, 이를 이용한 이중 노광 홀로그래픽 리소그라피를 제안한다. 각도다중화의 방법으로 이중 노광 홀로그래픽 리소그래픽 실험 장치를 구성했다. 실험을 통하여 이중 노광 홀로그램픽 리소그래픽으로 홀로그램 마스크를 제작한 후 이를 통해 노광할 경우 간섭무늬가 발생하지 않음을 증명하였다.