미세패터닝용 감광성 은 페이스트의 제조 및 특성 평가

Abstract

후막 광식각 기술을 이용하여 형성된 Ag 전극과 LTCC 기판 사이의 접착력을 향상시키기 위하여 무기 바인더로서 anorthite 글라스 프릿을 첨가하여 감광성 Ag 페이스트를 제조하였다. 글라스 프릿은 Ag 분말의 5vol%~25vol%의 함량으로 첨가하여 감광성 Ag 페이스트를 제조하였고 패턴 형성 후 850℃에서 1시간 소결하였다. 전극과 기판 사이의 접착력은 micro-ball shear test 법으로 측정하였다. Ag 전극 부착력은 글라스 프릿의 함량 증가에 따라 증가하다가 감소하는 경향을 보이는데, 이는 과량의 글라스 프릿 첨가로 인한 전극 내부에 액상 풀의 형성에 기인한 것으로 보여진다. Ag 전극의 면저항은 글라스 프릿의 함량이 증가함에 따라 0.13mΩ/□에서 2.25mΩ/□까지 증가하는 경향을 나타내었다. 소성 전후의 전극 패턴의 수축율은 100 ㎛의 선폭을 기준으로 글라스 프릿의 첨가량이 증가할수록 43.3%에서 35.0%로 감소하였으며, 그 결과 최소 선폭 25 ㎛의 미세 전극패턴의 형성이 가능하였다.