공정모니터링 시스템의 품질예측을 위한 정준상관분석

Abstract

공정 모니터링 시스템(Process monitoring system)은 공정 내에서 발생하는 예상치 못한 변화 및 이상을 조기에 감지함으로써 공정의 안정적인 조업과 품질 향상의 기반을 제공할 수 있다. 주성분회귀(PCR) 및 부분최소 제곱회귀(PLSR)는 공정 모니터링 시스템을 통한 공정의 이상감지 및 진단을 하기 위한 품질예측모형으로 널리 사용되고 있다. 본 논문에서는 주성분을 이용한 정준상관분석(PCA-CCA) 및 잠재변수를 이용한 정준상관분석(PLS-CCA)을 제안하였다. 또한 예측력을 높이기 위해서 정준상관분석의 정준적재(Canonical loading)를 이용한 변수선택법을 제안하였다. 마지막으로 공정 모니터링 시스템으로부터 추출된 품질 데이터를 제안된 예측모형에 적용하였으며, 주성분회귀(PCR) 및 부분최소제곱회귀(PLSR) 와 제안된 에측모델 간의 비교분석을 통하여 예측력의 우수성을 입증하였다.