유도결합 산소 플라즈마에서 부유형 탐침을 이용한 음이온 밀도의 공간분포 측정

Abstract

음이온이 발생되는 유도 결합 산소 플라즈마에서 부유형 탐침을 이용하여 음이온 밀도의 공간분포 측정에 관하여 연구하였다. 플라즈마의 준중성 조건을 적용하여 양이온과 전자 공간 분포의 측정으로 음이온 공간 분포를 유추할 수 있었는데, 이는 부유형 탐침에 고조파 분석법을 수정 적용하여 얻을 수 있었다. 이렇게 적용한 결과, 선행 연구에서 예상한 이론적인 경향과 시뮬레이션의 결과와 유사한 경향을 확인할 수 있었다. 이러한 방법은 탐침의 오염, 접지의 유무, 분석 장비의 이동성 및 경제성 등의 이유로 실제 산업 공정에 적용이 용이하지 않았던 한계를 넘을 수 있다는 점에 의미가 있다.