음향 방출 센서를 이용한 IZO 코팅층의 나노 가공 공정 및 결합력 분석

Abstract

본 연구는 Magnetic Abrasive Polishing 공정으로 IZO 코팅된 Pyrex Glass 시편을 대상으로 Polishing 가공을 진행 할 때 발생하는 코팅표면의 기계적 가공 특성을 연구하였다. 추가적으로 AE Sensor를 통한 신호수집과 SEM(Scanning Electron Microscope)을 이용한 이미지 촬영을 함께 진행하여 데이터를 분석하였다. Polishing 후 시편 표면형상에 따라 가공단계를 IZO 코팅만 존재하는 상태, 코팅과 Substrate의 공유상태 그리고 Substrate만 존재하는 상태 3가지로 구분하였다. IZO코팅의 기계적 가공특성 연구하기 위해서 본 논문에서 제시한 실험조건에 따라 가공된 IZO시편을 Nano-View를 통하여 MRR(Material Removal Rate) 분석과 AFM(Atomic Force Microscope) 측정을 통하여 IZO코팅 조직의 결합력을 분석하였다. 이와 같은 절차를 통하여 얻어낸 결과를 분석하여 IZO코팅의 나노 공정에서의 기계적 Polishing특성을 규명한다.