LPCVD로 성장시킨 단일층 그래핀과, 단일층 그래핀을 연속적으로 전사시킨 이중충 그래핀의 광학적, 전기적, 물리적 특성 연구

Abstract

본 논문에서는 LPCVD(Low pressure chemical vapor deposition)를 이용하여 고품질의 대면적 graphene을 성장시켰으며, CVD를 통해 성장된 single layer graphene을 double transfer 방법을 이용하여 만든 double layer graphene의 특성을 광학적, 전기적, 물리적 방법으로 확인하였다. Single , double, bi layer graphene을 Raman spectrum분석을 통하여 광학적 특성을 확인했으며 Top-gate, bottom-gate field effect transistor를 제작하여 single, double layer 의 전기적 특성을 검증 하였다. 또한 PDMS(polydimethylsiloxane)와 graphene사이에 PMMA을 supporting layer로 이용하는 transfer방법을 고안하여 PDMS에 graphene을 전사하여 물리적 스트레스에 대한 특성을 확인하였다.