반도체 통신 프로토콜 EDA 표준에 기반한 설비 자료 수집 시뮬레이션

Abstract

반도체 설비의 구조와 공정기술 복잡성의 증가로 장비 구조에 대한 데이터화 요구가 증가하고 있다. 설비 문제가 발생할 것에 대비한 추적 및 예측 기능 강화 요구의 증가가 대표적이며 설비 데이터를 활용한 장비 상태 모니터, 장비 가동률 추적 등 다양한 활동을 할 수 있는 영역이 마련되고 있다. 새로운 반도체 통신 프로토콜인 EDA 표준의 제정으로 더욱더 정확한 설비 데이터를 통한 장비 성능, 공정 수율, 품질 등의 향상이 가능하다. EDA 프로토콜에 의한 데이터는 기존의 SECS에서 사용하는 포트와 구분된 TCP/IP상의 HTTP을 통하여 SOAP내의 XML데이터를 통해 전달되기 때문에 이를 통해 고속 대용량 데이터 수집이 가능해졌다. 빠른 시일 내에 국내 반도체 산업에서 EDA를 지원 가능하도록 인프라가 구축될 것으로 예상되며 따라서 새로운 프로토콜에 대한 충분한 인지 및 현장 도입 가능성에 대한 테스트가 선행될 필요가 있다. 본 논문에서는 반도체 설비 회사인 램 사의 설비 소프트웨어와 EDA 클라이언트 소프트웨어를 이용하여 EDA 구현이 가능한 시뮬레이션 환경을 구성하였다. 새로운 프로토콜의 표준에 따라 설비 시뮬레이터의 물리적 구조에 대한 메타 정보와 데이터 수집 계획으로 정의된 설비의 파라미터 값을 얻는 시뮬레이션을 진행하였다.